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質量流量控制器響應時間較快

2021-10-18 16:48:05
本文關鍵字:質量流量控制器

  質量流量控制器含分流器通道和流量放大、流量傳感器、電磁閥和P ID控制電路、線性化及溫度補償電路組成。

  質量流量控制器傳感器采用微機械加工技術,質量流量控制器實現微小流量測量;其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償,應用于輕工、化工及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

  質量流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。

  質量流量控制器使用注意:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上;需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下、設定值是0的狀態再操作;進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,確定氣體的干凈不能進水/油、雜質粉塵不超過20微米;安裝前,請將設備管路進行整體吹掃。


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